谈芯说势丨陈登云受邀作《半导体超痕量分析技术介绍》主题讲座
近日，北京清合智测科技有限公司总经理、日本IAS Inc. 公司中国区技术总监陈登云博士受高端电子化学品国家工程研究中心（重组）（“工程中心”）邀请于厦门大学翔安校区作了主题为《半导体超痕量分析技术介绍》的讲座，洪文晶教授主持讲座。
陈登云博士结合自身经验，解析半导体产业链上的几大重要材料及其核心指标。他还介绍了对于这些材料的最前沿检测分析技术，尤其是金属污染、ICPMSMS和多种联机在线监测系统。讲座期间，陈登云博士与现场的师生就ICPMSMS技术的实际应用困难点和解决方案、GC及GCMS在半导体行业的应用、监测实验室平台建设的需求等各个细节技术进行了深入探讨交流。
讲座后，陈登云博士接受工程中心专访，就美国限芯持续发酵的时代背景下我国半导体产业的机会等相关问题发表了自己的见解，为工程中心如何更好地利用自身优势及紧密对接区域产业布局带来诸多启发。
工程中心不仅汇聚了厦门大学化学化工学院、电子科学及技术学院（国家示范性微电子学院）、航空航天学院、人工智能研究院和国家集成电路产教融合创新平台等与化学、电子、信息、机械、仪器相关的多学科、多平台的优势及深厚积累。同时，工程中心亦积极依托醇醚酯合成与产业化技术基础及厦门大学催化、电化学和半导体集成电路等学科方向的研究基础，紧密结合国家重大战略需求，对接福建省、厦门市半导体集成电路、光电显示、新材料等电子信息产业布局，开展高端电子化学品和电子电镀相关技术研究，致力于建设成为高端电子化学品领域的国家重要战略科技力量。
INTERVIEW
谈芯说势
Q 1：半导体行业高端电子化学品的全自动进样系统引进高校作为研究用的必要性是什么？
A 1：半导体行业的高端电子化学品主要包含一代与三代晶圆、电子特气、湿化学品、光刻胶、靶材等等，覆盖固液气等不同形态，技术性能千差万别，每一种材料都有独特的技术要求，一个专业方向不可能覆盖。然而，他们都有一个共同的核心技术要求，就是目标污染物尤其是金属元素污染物的要求浓度极低，达到极限的ppt甚至ppq量级。一系列的污染物检测分析平台可以服务校内、校外各种半导体材料的研发平台，真正达到产业需求的极限指标。同时，由于半导体行业关注的污染物不仅与材料自身有关，操作者本身就可能是最大的污染源之一。因而，监测分析的设备自动化、全封闭管道化等成为重要需求。日本IAS公司作为半导体行业ICPMSMS在线检测系统的顶级供应商，提供了一系列全自动管道联机ICPMSMS技术，针对晶圆、电子特气和湿化学品，可以对半导体分析平台的建设做出贡献。
Q 2：如今我国大部分检测设备依赖进口，作为“卡脖子”问题，国产设备的出路在哪里？
A 2：检测设备的研发没有不可攻克的原理性壁垒，更多的是工程上优化和生产实践上的不停打磨及升级换代。所谓“卡脖子”只能是一时的困难，美国停止供应反而给国产设备让出了市场成长空间。半导体行业的客户亦给了国产设备成长空间。期待国产仪器公司能够进一步加大投入，并且注重多技术协作，在可预期的未来十多年内，一定有机会追平甚至超越当前的前沿。
Q 3：对比长三角、珠三角，厦门乃至福建区域发展半导体产业的机会和优势在哪里？厦门大学在检测设备方面有着深厚的积淀，我们要如何利用自身优势更好地服务区域乃至全国半导体行业？
A 3：长三角与珠三角在国内半导体行业上有先发优势，然而，很多先进制程的生产设备受美国的制约。厦门乃至福建区域的半导体行业更多的集中在第三代半导体方向，例如士兰微与三安等都在三代半导体上集中投入。中国的三代半导体与国际先进水平差距不大，受制约也少，有很大的成长机会。而且，福建原有的矿产资源，支撑了多个本地的电子湿化学品厂和电子特气厂，正在进入主流的半导体产业链。
厦门大学在检测设备与检测技术方面有深厚的积淀，我们需要更多的产学研结合，更深入了解产业链以及各个化学品生产厂和IC厂的实际需求，用先进设备，尤其是理论指导实践，解决他们生产技术上的“卡脖子”问题，促进整个产业的发展。目前半导体行业内检测需求最大的包含：1、金属污染；2、颗粒污染；3、有机污染等等，厦门大学已有相关技术积淀，只需要引入更多与生产厂的实践合作，就有机会打磨出国内国际领先的分析检测技术平台。
Q 4：随着美国限芯持续发酵，国际方面特别是日本有何应对措施，我们是否能从中寻得新的合作及发展机会？
A 4：大部分日本的厂商十分不愿意跟随美国的制裁措施，反而利用美国厂商撤出的空档期加大市场投入，试图最大化自己的市场份额与利润。但不可否认的是，日本政府确有可能在压力下，进一步断绝日本先进半导体技术在中国的供应。国内研发单位应该充分利用这个空档期，更多地引进可获得的美国设备和日本人才，与我们的科研生产实践相结合，发展出具有中国特色的技术体系。事实上，当前国内很大一部分高端电子化学品企业都有日本的技术背景。
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