全自动晶圆表面气相分解金属污染物检测系统(VPD)
Automatic wafer surface vapor decomposition metal contamination detection system (VPD)
新闻中心
-
2022-01-12
2020年10月16日,陈登云博士作为“中国电子气体分析检测技术论坛“特邀专家介绍了SEMIGED的最新应用数据,展示了半导体超高纯氨气中单个纳米级Fe颗粒的监测结果。现场多位行业代表邀请陈博士去他们的工厂现场作相关讲座,并提出合作意向。
2020年10月16日,陈登云博士作为“中国电子气体分析检测技术论坛“特邀专家介绍了SEMIGED的最新应用数据,展示了半导体超高纯氨气中单个纳米级Fe颗粒的监测结果。现场多位行业代表邀请陈博士去他们的工厂现场作相关讲座,并提出合作意向。
会后,清合智测技术团队与珀金埃尔默技术团队共同为参会代表进行了氨气中纳米金属颗粒污染检测现场演示,采用了SEMIGED 与 珀金埃尔默 Nexion 系列ICPMS系列的联机技术,验证了氨气钢瓶对于氨气中金属颗粒物污染的严重影响。参会代表十分感兴趣,讨论了进一步合作意向。查看详情 >
-
2022-01-12
2020年1月9日,安捷伦科技在上海举办 “见证从微米到纳米的变迁 — 安捷伦半导体无机元素分析论坛“。
2020年1月9日,安捷伦科技在上海举办 “见证从微米到纳米的变迁 — 安捷伦半导体无机元素分析论坛“。仪器信息网对此盛事进行详细报道。在该论坛中,清合智测总经理陈登云博士作为特邀代表,同时作为IAS Inc.中国区技术总监身份,带来了气体在线分析解决方案《最新气体分析和单纳米颗粒 ICP-MS 新进样系统介绍》。
查看详情 >
化学品在线连续监测系统(CSI )
On line monitoring system for water, atmospheric particulate matter, metal pollution and VOC in the environment
版权所有©北京清合智测科技有限公司 京ICP备2021001763号